精機產(chǎn)品?技術(shù)報告：高精度空氣導(dǎo)軌

空氣導(dǎo)軌采用靜壓空氣軸承進行導(dǎo)向，滑動面的摩擦極小，沒有滑移爬行。因此運行非常平穩(wěn)，能獲得很高的直線度和定位精度，速度不均也很少。同時，產(chǎn)生異物少很適合在清潔環(huán)境的場合使用。
根據(jù)這些優(yōu)異的特性，各種精密測量設(shè)備或者是逐漸高密度化高精度化的半導(dǎo)體及情報設(shè)備的制造裝置，檢查裝置等，在這些地方原來使用滾動導(dǎo)軌很難達到所需的精度的條件下，使用空氣滑塊的場合很多。NSK針對這種要求，開發(fā)并生產(chǎn)出了空氣導(dǎo)軌。
NSK標(biāo)準(zhǔn)形狀的空氣導(dǎo)軌按照導(dǎo)軌的支撐方式的不同分為2類（如圖1）。A型空氣導(dǎo)軌的導(dǎo)軌兩端的支撐方式采用最簡單的構(gòu)造，適合輕載時使用（如圖2）。B型空氣導(dǎo)軌的導(dǎo)軌兩端采用全面支撐，沒有因載荷而導(dǎo)致的導(dǎo)軌的彎曲變形，適合重載時使用（如圖3）。NSK空氣導(dǎo)軌的特點如下所示。