特點(diǎn)
各類產(chǎn)業(yè)機(jī)械為了實(shí)現(xiàn)大量生產(chǎn)、提高性能的目的，大容量化、小型輕量化（細(xì)微化）、高精度化、高速化以此為開(kāi)發(fā)目標(biāo)。特別在半導(dǎo)體制造設(shè)備中，隨半導(dǎo)體的發(fā)展對(duì)開(kāi)發(fā)速度也提出了要求。為了解決各類問(wèn)題，逐漸開(kāi)發(fā)了滿足各自用途的引導(dǎo)裝置。甚至在半導(dǎo)體制造設(shè)備中，特別要求低發(fā)塵（潤(rùn)滑脂）、長(zhǎng)壽命（免維護(hù)）這樣的性能。NSK將實(shí)現(xiàn)了高精度?清潔 ?免維護(hù)的非接觸式直驅(qū)滑動(dòng)進(jìn)行了商品化。
【用途】
- 半導(dǎo)體相關(guān)的制造?檢測(cè)裝置（薄晶片、薄膜）
- 液晶相關(guān)的制造?檢測(cè)裝置（彩色膠片、薄膜）
- 磁盤?光盤相關(guān)的制造?檢測(cè)裝置
- 緊密細(xì)微加工機(jī)械
- 各類檢測(cè)裝置
1. 使用DC無(wú)刷電機(jī)實(shí)現(xiàn)高運(yùn)動(dòng)精度
通過(guò)使用無(wú)齒槽DC無(wú)刷電機(jī)實(shí)現(xiàn)高運(yùn)動(dòng)精度。
2. 由于非接觸式引導(dǎo)速度的起伏很小
由于非接觸式引導(dǎo)的空氣滑塊使速度的起伏很小。
3. 實(shí)現(xiàn)低發(fā)塵?免維護(hù)
采用空氣滑塊的非接觸式引導(dǎo)和無(wú)刷電機(jī)，獲得完全非接觸式的運(yùn)動(dòng)實(shí)現(xiàn)了低發(fā)塵?免維護(hù)。
4. 結(jié)構(gòu)部件的精度壽命長(zhǎng)
結(jié)構(gòu)部件均采用全陶瓷，實(shí)現(xiàn)了長(zhǎng)精度壽命。
5. 采用混合軸承構(gòu)造實(shí)現(xiàn)了輕量薄型
靜壓多孔質(zhì)的浮力與永磁體的吸引力之間取得平衡的混合軸承構(gòu)造實(shí)現(xiàn)了輕量薄型化。